Установка контроля дефектности Aura

Вернуться ко всему оборудованию

Установка контроля дефектности Aura

Установка контроля привнесенной дефектности Aura серии FAB 100/150 предназначена для обнаружения дефектов на поверхности пластин диаметром 100/150 мм, определении их положений в привязке к системе координат и оценке размера каждого дефекта. Технологический процесс проходит при атмосферном давлении. Установка позволяет работать с одиночными пластинами, кассетами и герметичными контейнерами.

 

Установка реализована на базе атмосферного модуля загрузки-выгрузки и включает в себя:

Блок модуля измерителя

Блок управления

Система подачи сжатого воздуха

Система поддержания давления

Блок питания общий

Манипулятор для переноса пластины в зону контроля

Роботизированный модуль кассетной загрузки-выгрузки (опционально)

 

Детектирование дефектов осуществляется с применением фокусированного интенсивного светового пучка, направленного на поверхность пластины в зону контроля. Свет, рассеянный поверхностью пластины, собирается оптической системой на детектор, полученный сигнал оцифровывается и обрабатывается специализированным программным обеспечением. По каждой пластине пользователю выдается отчет, содержащий информацию о наличии дефектов в зоне контроля, их размерах и месторасположении.

Схема детектирования

Исходный световой пучок направлен под скользящим углом к поверхности пластины, оптическая система, установленная под нормалью к поверхности пластины, собирает рассеянное излучение. Такая схема детектирования дает наилучшую чувствительность при минимальных размерах дефектов практически для всех материалов, форм дефектов и их типов.

 

Сбор рассеянного излучения со всей поверхности пластины выполняется сканирующим методом по спирали за счет перемещения оптической головки по дуге окружности относительно вращающейся пластины.

Схема сканирования

Технологии и параметры

Параметр

Значение

Минимальный размер обнаруживаемых дефектов при вероятности обнаружения не менее 95 %, не более, нм От 90 до 80
Точность определения позиции дефекта, не хуже, мкм От 50 до 25
Диаметр обрабатываемых пластин, мм 100 / 150
Тип загрузки Ручной
Производительность не менее, пластин / час 15
Время полного цикла работы установки с одной пластиной, с 80
Время установки-снятия пластины / контейнера оператором при ручном режиме загрузки, с 5
Требование к классу чистоты помещения 8 ИСО при работе с герметичным контейнером

Заинтересовало оборудование или остались вопросы? Свяжитесь с нами

X
X
X