Универсальные модули загрузки-выгрузки

Вернуться ко всему оборудованию

Универсальные модули загрузки-выгрузки

Модульная платформа FAB 100/150 позволяет эффективно в короткие сроки имплементировать современные технологические решения и ускорять разработку и производство нового оборудования, требующегося российским производителям.

 

Большинство технологических и контрольных операций в производстве микроэлектроники выполняются в чистой атмосфере или в вакууме. Технологические процессы могут состоять как из одной технологической операции, так и из несколько последовательно выполняемых. Мы создали основу для реализации всех указанных процессов:

  • Вакуумный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный

  • Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный

  • Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный

 

Для всех модулей предусмотрена работа с пластинами, размещенными в герметичных контейнерах или кассетах. Для работы с кассетами модули укомплектовываются роботизированным модулем кассетной загрузки-выгрузки.

 

 

 

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный предназначен для применения в составе технологического и контрольно-измерительного оборудования, требующего пониженного давления для реализации процесса. Модуль комплектуется системами вакуумной откачки, управления давлением в порту загрузки, автоматизированного управления и индикации.

 

Конфигурация Вакуумного модуля загрузки-выгрузки однопозиционного:

  1. Порт загрузки- выгрузки:

      • Ручная загрузка-выгрузка для одиночных пластин

      • Ручная загрузка-выгрузка для пластин в герметичном контейнере

      • Автоматизированная загрузка-выгрузка для пластин в кассетах

  1. Манипулятор для переноса пластины из контейнера в технологическую/ контрольно-измерительную станцию
  2. Позиция для монтажа технологической / контрольно-измерительной стации
  3. Две позиции для вспомогательного контрольно-измерительного оборудования

 

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный реализует функции:

  • Фиксирование пластины и передача ее на позицию технологической обработки

  • Герметичное отсечение технологического пространства от внутреннего объема модуля

  • Перенос пластины из позиции технологической обработки в шлюзовую камеру и выгрузка ее с контролем правильности положения

  • Индикация состояния порта загрузки-выгрузки для оператора

  • Взаимодействие с автоматизированной системой управления установки для передачи команд, состояний, событий

 

Технические параметры вакуумного модуля загрузки-выгрузки

Параметр

Значение

Размеры обрабатываемой пластины По SEMI M1.11 - 100/150 мм
Уровень течей по гелию, не более 1·10-10 м3·Па/с

Длительность рабочего цикла (время от фиксации контейнера до его отпускания, с прохождением обработки)

< 70 с

С длительностью технологической операции 40 с

 

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный предназначен для проведения манипулирования с подложками диаметром до 100/150 мм. Модуль представляет собой вакуумную камеру, на верхней стороне которой размещены порты загрузки-выгрузки и фланцы технологических станций. Внутри камеры размещаются плоская карусель (система перемещения пластин между технологическими станциями), манипулятор для перемещения пластин из позиций портов на карусель и обратно и система герметизации технологических станций.

 

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный комплектуется системами вакуумной откачки, управления давлением в порту загрузки, автоматизированного управления и индикации. В модуле предусмотрено два порта загрузки, которые открываются и закрываются синхронно.

 

Вакуумный модуль загрузки-выгрузки многопозиционный реализует функции:

  • Открывание-закрывание контейнера без доступа внешней атмосферы

  • Вакуумирование шлюза и внутреннего пространства открытого контейнера

  • Фиксирование пластины и передача ее на карусель

  • Перемещение пластины между технологическими станциями

  • Герметичное отсечение технологического пространства камер от внутреннего объема модуля

  • Пластины из позиции технологической обработки в шлюзовую камеру и выгрузка ее с контролем правильности положения

  • Индикация состояния порта загрузки-выгрузки для оператора

  • Взаимодействие с автоматизированной системой управления установки для передачи команд, состояний, событий

 

Система, перемещающая пластины, представляет собой карусель с держателями пластин. Установленные на карусели держатели участвуют в герметизации технологических станций. Держатели представлены в виде плоского кольца с тремя лучами, направленными внутрь. На них располагается пластина. В процессе установки пластины в позиции обработки на столик лучи размещаются в пазах столика. В качестве уплотнения в проектируемой системе герметизации используется надувное уплотнение.

Схематичная конфигурация вакуумного модуля загрузки-выгрузки многопозиционного

 

Технические параметры вакуумного модуля загрузки-выгрузки многопозиционного

Параметр

Значение

Размеры обрабатываемой пластины По SEMI M1.11 - 100/150 мм
Количество портов загрузки 2
Количество технологических станций 5

Предельное абсолютное давление в технологических станциях при отсечении от общего объема, не более

1∙10-5 Па
Уровень течей по гелию, не более  1·10-10 м3·Па/с 
Кинематическая производительность (при длительности условного процесса 40 с) От 30 до 60 пластин/ч

 

Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный

Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный предназначен для применения в составе технологического и контрольно-измерительного оборудования, работающего с пластинами 100/150 мм, размещенными в герметичном контейнере и реализующего технологический процесс при атмосферном давлении.

 

Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный обеспечивает:

  • Работу с герметичным контейнером

  • Возможность шлюзовой загрузки в область контролируемой «чистоты»

  • Циркуляцию и фильтрацию внутренней атмосферы модуля

 

Атмосферный модуль загрузки-выгрузки однопозиционный реализуется в двух исполнениях:

  • Основное: в корпусе модуля организовано пространство для размещения технологической/контрольно-измерительной станции.

  • С коротким корпусом: модуль можно монтировать на технологическое/контрольно-измерительное оборудование с собственным корпусом. Поддержание «чистоты» в зоне обработки должно обеспечиваться самим технологическим / контрольно-измерительным оборудованием. Манипулятор модуля выносит пластину за пределы корпуса модуля для перехвата системой перемещения оборудования.

 

Конфигурация Атмосферного модуля загрузки-выгрузки однопозиционного:

  1. Порт для герметичного контейнера
  2. Манипулятор для переноса пластины из контейнера в технологическую / контрольно-измерительную станцию
  3. Позиция для монтажа технологической / контрольно-измерительной стации
  4. Фланец для монтажа на корпус технологического / контрольно-измерительного оборудования

 

Реализуемые функции

  • Открывание-закрывание контейнера без доступа внешней атмосферы

  • Извлечение пластины из контейнера и передача ее на позицию технологической обработки / измерения

  • Перенос пластины из позиции технологической обработки / измерения и укладка в контейнер с контролем наличия и правильности положения пластины

  • Циркуляцию и фильтрацию внутренней атмосферы модуля

  • Контроль «чистоты» (счетчик частиц) внутренней атмосферы модуля

  • Поддержание давления внутренней атмосферы модуля на заданном уровне (с подачей газа от внешнего источника)

  • Индикация состояния порта загрузки-выгрузки для оператора

  • Контроль правильности укладки контейнера в порт

  • Взаимодействие с АСУ установки для передачи команд, состояний, событий

 

Модуль кассетной загрузки-выгрузки

Все установки серии FAB 100/150 могут быть оснащены роботизированным модулем кассетной загрузки-выгрузки. Модуль кассетной загрузки-выгрузки – типовое решение, обеспечивающее поштучную подачу пластин 100 и 150 мм из кассет в шлюз установки и обратно.

 

Параметры модуля кассетной загрузки-выгрузки пластин:

  • Кассеты для пластин 100 и 150 мм: открытые кассеты с H-bar по SEMI E1

  • Количество станций под кассеты: 4 шт.

  • «Чистота» (отсутствие частиц субмикронного размера) в зоне перемещения пластин

  • Точность перемещения: ±0,05 мм

  • Минимальное время перемещения: 0,5 с

  • Совместимость по механическим интерфейсам с кассетами и оборудованием

 

Модуль реализует функции:

  • Картирование размещения пластин в кассетах

  • Контроль наличия сдвоенных и косо вставленных пластин в кассете

  • Ориентация пластины перед подачей на обработку

 

Модуль снабжен блоком обеспыливания с ULPAфильтром, обеспечивающим класс 4 ИСО в зоне перемещения пластин на атмосфере. Каркас модуля имеет возможность подстройки высоты для позиционирования и фиксирования в «чистой комнате».

Заинтересовало оборудование или остались вопросы? Свяжитесь с нами

X
X
X