Герметичный контейнер Гермикон

Вернуться ко всему оборудованию

Герметичный контейнер Гермикон

Производство современной элементной базы для микроэлектроники требует использование чистых помещений согласно стандартам ISO. Инфраструктурные решения для обеспечения высокой степени чистоты в помещениях являются дорогостоящими и трудозатратными. Для снижения требований к внешней среде оборудования используется герметичный контейнер.

 

Герметичный контейнер:

Предназначен для пластин 100 мм (SEMI M1) и 150 мм (SEMI M1.13)

Предотвращает засветки фоторезиста на поверхности пластины

Обеспечивает антистатичность во внутреннем объеме

Сохраняет работоспособность при падении с высоты 80 см на любую из граней, углов или ребер контейнера

Обеспечивает уровень привнесенной дефектности на одну операцию закрывания/открывания: частицы > 0,15 мкм — не более 0,01 шт на см2

Герметичный контейнер состоит из двух основных составных частей: корпуса и дверцы, которые вместе образуют герметичную полость, в которую помещается пластина. Перемещение пластин между технологическими устройствами в контейнере уменьшает их взаимодействие с окружающей средой.

 

При работе с оборудованием герметичный контейнер устанавливается сверху на порт загрузки-выгрузки, который представляет собой отверстие в стенке герметичного корпуса оборудования, закрытое изнутри дверцей порта. При установке контейнера на порт дверцей вниз его корпус уплотняется на корпусе порта. После уплотнения дверца порта открывается, опускаясь вниз вместе с установленной на ней дверцей контейнера с лежащей на ней пластиной. Пластина оказывается внутри герметичного объема модуля загрузки-выгрузки.


Взаимодействие герметичного контейнера с портом загрузки-выгрузки

 

Герметичные контейнеры содержат «умные» чипы с идентификацией, записью истории, маршрута и параметров обработки пластин, которые повышают эффективность использования оборудования, снижают потенциальные ошибки производственной логистики, повышают конфиденциальность при производстве.

 

Заинтересовало оборудование или остались вопросы? Свяжитесь с нами

X
X
X