Вакуумное технологическое оборудование Ultra (Ультра) предназначено для нанесения тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления с предварительной ионной очисткой и возможностью нагрева обрабатываемых подложек до 350 °C.

Подложки могут быть разной формы и размеров, они крепятся вертикально в специальных рамках, что обеспечивает низкую дефектность. Зона обработки варьируется от 2х200 до 800х1000 мм в зависимости от задач. Оборудование комплектуется магнетронами в количестве до 5 штук, что позволяет формировать многослойные структуры, а также многокомпонентные покрытия.

Оборудование подходит для применения в серийном и мелкосерийном производстве.