Серия Delta
Высоковакуумное технологическое оборудование серии Delta-IR10 предназначено для ионно-плазменной очистки оптических поверхностей и нанесения углеродных алмазоподобных (DLC) и просветляющих покрытий методом плазмохимического осаждения (PECVD) в производстве прецизионных оптических деталей.
Травление деталей производится в диодной схеме емкостного реактора с возможностью варьирования энергии и состава атомов, бомбардирующих поверхность. Возможна обработка в восстановительной, нейтральной и в окислительной среде, удаляя или восстанавливая оксидный слой на поверхности подложек. Для увеличения равномерности травления при обработке обеспечивается вращение и охлаждение технологического столика.
Равномерная подача углеродсодержащего газа в зону осаждения совместно с использованием пространственно-разнесенной откачки камеры позволяет существенно повысить равномерность осаждения покрытий. Контроль нанесения покрытия ведется в автоматическом режиме по отражению от свидетеля или плоской детали, расположенных в центре столика.
Технологии и параметры
Серия |
Delta-IR-10 |
||
Геометрия подложкодержателя | Плоский диаметром 500 мм | ||
Геометрия подложек | Плоские / выпуклые / вогнутые детали до 500 мм | ||
Материал подложек | Германий, кремний | ||
Основные технологии |
Подготовка: • Ионно-плазменная очистка Нанесение слоев: • Плазмохимическое осаждение алмазопобного покрытия |
||
Равномерность | ±1,5 % | ||
Средства контроля | Автоматический оптический контроль по детали / свидетелю | ||
Особенности |
Ионно-плазменная очистка реактора для увеличения периода между профилактиками Нанесение покрытий с использованием ацетилена |
||
Высоковакуумная откачка | Турбомолекулярный насос | ||
Форвакуумная откачка | Механический насос | ||
Требования к электропитанию | 3х380 В / 50 Гц | ||
Потребляемая мощность, не более | 22 кВт | ||
Габариты установки, не более (ДхШхВ) | 2600х1200х2000 мм | ||
Масса, не более | 2500 кг |