OpticExpress

Вернуться ко всему оборудованию

Серия OpticExpress

Серия вакуумного оборудования OpticExpress (ОптикЭкспресс) предназначена для нанесения прецизионных оптических покрытий с высокой стабильностью и механической прочностью в условиях мелкосерийного производства малогабаритных изделий широкой номенклатуры, а также для исследований и разработки новых технологий и материалов оптических покрытий.

 

Базовая технология оборудования – магнетронное распыление с прокислением тонких слоев в плазме высокой плотности. Технология позволяет наносить пленки с высокими оптическими характеристиками, гладкими границами, низкими механическими напряжениями и с высокой точностью и равномерностью по толщине слоев. Дополнительно оборудование представляет возможности для исследований и разработки новых технологий и оптических материалов.

 

Установки серии OpticExpress обеспечивают высокую производительность за счет быстрого цикла (от 20 мин), высокой равномерности слоёв ±0,5 % и стабильности оптических характеристик покрытий и скорости их нанесения.

Технологии и параметры

Серия

Optic Express

Геометрия подложкодержателя

Барабан диаметром 100 / 200 мм и высотой 100 мм

Скорость вращения подложкодержателя

От 1 до 100 об/мин

Геометрия подложек

Любая форма и размеры по требованию

Материал подложек

Кристаллы CdZnTe, стекло

Основные технологии

Подготовка:  

Ионно-плазменная очистка

Нанесение слоев:  

Магнетронное распыление с прокислением в плазме (окислы, нитриды)

Дополнительные технологии

Реактивное магнетронное распыление  ВЧ магнетронное распыление 

Равномерность  ±0,5 %
Средства контроля Контроль по времени   Автоматический оптический контроль по детали / свидетелю 
Особенности

Шлюзовая загрузка   Возможность нанесения сложных покрытий "с расчета"

Высоковакуумная откачка Турбомолекулярный насос
Форвакуумная откачка Сухой спиральный насос
Требования к электропитанию 3х380 В / 50 Гц
Потребляемая мощность, не более 35 кВт
Габариты установки, не более (ДхШхВ) 1000х2000х2000 мм
Масса, не более 2000 кг

 

Заинтересовало оборудование или остались вопросы? Свяжитесь с нами

X
X
X