Серия OpticExpress
Серия вакуумного оборудования OpticExpress (ОптикЭкспресс) предназначена для нанесения прецизионных оптических покрытий с высокой стабильностью и механической прочностью в условиях мелкосерийного производства малогабаритных изделий широкой номенклатуры, а также для исследований и разработки новых технологий и материалов оптических покрытий.
Базовая технология оборудования – магнетронное распыление с прокислением тонких слоев в плазме высокой плотности. Технология позволяет наносить пленки с высокими оптическими характеристиками, гладкими границами, низкими механическими напряжениями и с высокой точностью и равномерностью по толщине слоев. Дополнительно оборудование представляет возможности для исследований и разработки новых технологий и оптических материалов.
Установки серии OpticExpress обеспечивают высокую производительность за счет быстрого цикла (от 20 мин), высокой равномерности слоёв ±0,5 % и стабильности оптических характеристик покрытий и скорости их нанесения.
Технологии и параметры
Серия |
Optic Express |
||
Геометрия подложкодержателя |
Барабан диаметром 100 / 200 мм и высотой 100 мм |
||
Скорость вращения подложкодержателя |
От 1 до 100 об/мин |
||
Геометрия подложек |
Любая форма и размеры по требованию |
||
Материал подложек |
Кристаллы CdZnTe, стекло |
||
Основные технологии |
Подготовка: • Ионно-плазменная очистка Нанесение слоев: • Магнетронное распыление с прокислением в плазме (окислы, нитриды) |
||
Дополнительные технологии |
• Реактивное магнетронное распыление • ВЧ магнетронное распыление |
||
Равномерность | ±0,5 % | ||
Средства контроля | • Контроль по времени • Автоматический оптический контроль по детали / свидетелю | ||
Особенности |
• Шлюзовая загрузка • Возможность нанесения сложных покрытий "с расчета" |
||
Высоковакуумная откачка | Турбомолекулярный насос | ||
Форвакуумная откачка | Сухой спиральный насос | ||
Требования к электропитанию | 3х380 В / 50 Гц | ||
Потребляемая мощность, не более | 35 кВт | ||
Габариты установки, не более (ДхШхВ) | 1000х2000х2000 мм | ||
Масса, не более | 2000 кг |