Вакуумное технологическое оборудование серии Orion – универсальное решение для широкого круга задач электроники по формированию функциональных слоев. Нанесение покрытий происходит по схеме «снизу-вверх» на вращающийся купол, диск или подложкодержатели с возможностью предварительной ионно-лучевой обработки и нагрева обрабатываемых подложек. Установка позволяет выполнять двухстороннее нанесение покрытий на подлдожкодержатели с помощью механизма переворота и вращения подложек в различном диапазоне скоростей.

В рамках серии доступны различные методы формирования покрытий, включая электронно-лучевое испарение, термическое испарение, магнетронное распыление и ионно-лучевое распыление. Возможность выбора из широкого спектра методов позволяет подобрать оптимальное решение для конкретной задачи и условий производства.

Прецизионность нанесения покрытий обеспечивается с помощью шести кварцевых датчиков, расположенных по центру держателя подложек. Это гарантирует высокую точность и повторяемость процесса формирования покрытия. Оборудование оснащено системой охлаждения и нагрева камеры, что улучшает стабильность технологического процесса и качество наносимых покрытий.