Вакуумное технологическое оборудование серии Iota (Йота) предназначено для нанесения тонкопленочных покрытий с возможностью нагрева обрабатываемых подложек до 800 °С. В зависимости от назначения доступна комплектация разными технологическими станциями, такими как электронно-лучевое испарение, термическое испарение, магнетронное распыление, ионно-лучевое распыление. Камера снабжена смотровым окном с заслонкой для визуального контроля за технологическим процессом.

Оборудование содержит шлюзовую загрузку, обеспечивающую стабильность технологического процесса, а также безмасляную систему откачки. Возможно работать в автоматическом, полуавтоматическом и ручном режимах. Технолог может создавать технологические рецепты, сохранять их в памяти оборудования и редактировать их на этапе автоматической работы. Установки серии Iota подходят для применения в лабораторных исследования и мелкосерийном производстве.