Вакуумное технологическое оборудование серии Libra (Либра) является универсальным решением для широкого круга производственных задач в области спектроскопии. Оборудование позволяет формировать многослойные оптические покрытия методом электронно-лучевого или термического испарения. Контроль спектральных характеристик многослойных покрытий ведется оптическим методом в режиме реального времени, с возможностью корректировки наносимого покрытия.

Оборудование серии Libra оснащено системой ионно-лучевой обработки для предварительной очистки подложек и ассистирования ионами малых энергий низкотемпературной плазмы при формировании покрытий.

Подложки устанавливаются на вращающийся подложкодержатель купольного типа, обеспечивающий угол потока напыляемого материала близкий к нормальному. Для увеличения равномерности покрытия до ±1% оборудование может комплектоваться планетарным механизмом вращения с регулируемым наклоном планет.

Вся линейка оборудования имеет опцию встраиваемости в чистое помещение.