Серия Taurus
Вакуумное технологическое оборудование Taurus является эффективным производственным оборудованием для нанесения проводниковых и резистивных слоев методом магнетронного распыления с цилиндрическим катодом или термического испарения. Для подготовки подложек перед нанесением покрытия предусмотрены ионная очистка и нагрев до 350 °С.
Важной технологической особенностью оборудования является возможность двустороннего нанесения покрытия, что позволяет существенно сократить производственный цикл изделия. Механизм вращения и переворота держателей подложек обеспечивает плавный переворот на минимальной дистанции поворота и надежно работает в различном диапазоне скоростей вращения. Оборудование содержит съемные держатели для подложек разной толщины от 0,15 до 1,5 мм, которые обеспечивают мягкое и надежное крепление с минимальным затенением и используются без переналадки и применения резьбовых соединений. Также предусмотрены легкосъемные экраны от запыления и безмасляная система откачки.
Технологии и параметры
Серия |
Taurus |
||
Геометрия подложкодержателя | Барабан со съемными держателями и возможностью переворота | ||
Скорость вращения подложкодержателя | От 1 до 20 об./мин | ||
Геометрия подложек | Пластины 60х48 мм и толщиной от 0,15 до 1,5 мм | ||
Материал подложек | Керамика, ситалл | ||
Объем загрузки для подложек 60х48 мм | 80 шт. | ||
Основные технологии |
Подготовка: •Ионно-лучевая очистка • Нагрев Нанесение слоев (опции): • Магнетронное распыление • Термическое испарение |
||
Дополнительные технологии | • Подача потенциала смещения на подложки • Реактивное магнетронное распыление | ||
Равномерность | ±2 % | ||
Температура нагрева | • До 350 °C | ||
Средства контроля | • Контроль по времени • Контроль по свидетелю сопротивления (опция) | ||
Особенности | Регулировка скорости вращения барабана | ||
Высоковакуумная откачка | Турбомолекулярный насос | ||
Форвакуумная откачка | Сухой спиральный насос | ||
Требования к электропитанию | 3х380 В / 50 Гц | ||
Габариты установки, не более (ДхШхВ) | 2600х2100х2000 мм | ||
Масса, не более | 2700 кг |