Taurus

Вернуться ко всему оборудованию

Серия Taurus

Вакуумное технологическое оборудование Taurus является эффективным производственным оборудованием для нанесения проводниковых и резистивных слоев методом магнетронного распыления с цилиндрическим катодом или термического испарения. Для подготовки подложек перед нанесением покрытия предусмотрены ионная очистка и нагрев до 350 °С.

 

Важной технологической особенностью оборудования является возможность двустороннего нанесения покрытия, что позволяет существенно сократить производственный цикл изделия. Механизм вращения и переворота держателей подложек обеспечивает плавный переворот на минимальной дистанции поворота и надежно работает в различном диапазоне скоростей вращения. Оборудование содержит съемные держатели для подложек разной толщины от 0,15 до 1,5 мм, которые обеспечивают мягкое и надежное крепление с минимальным затенением и используются без переналадки и применения резьбовых соединений. Также предусмотрены легкосъемные экраны от запыления и безмасляная система откачки.

Технологии и параметры

Серия

Taurus

Геометрия подложкодержателя Барабан со съемными держателями и возможностью переворота
Скорость вращения подложкодержателя От 1 до 20 об./мин 
Геометрия подложек Пластины 60х48 мм и толщиной от 0,15 до 1,5 мм
Материал подложек Керамика, ситалл
Объем загрузки для подложек 60х48 мм 80 шт.
Основные технологии

Подготовка:  

Ионно-лучевая очистка Нагрев

Нанесение слоев (опции):

Магнетронное распыление   Термическое испарение
Дополнительные технологии Подача потенциала смещения на подложки   Реактивное магнетронное распыление
Равномерность ±2 %
Температура нагрева До 350 °C
Средства контроля Контроль по времени   Контроль по свидетелю сопротивления (опция)
Особенности Регулировка скорости вращения барабана
Высоковакуумная откачка Турбомолекулярный насос
Форвакуумная откачка Сухой спиральный насос
Требования к электропитанию 3х380 В / 50 Гц
Габариты установки, не более (ДхШхВ) 2600х2100х2000 мм
Масса, не более 2700 кг

 

Заинтересовало оборудование или остались вопросы? Свяжитесь с нами

X
X
X